我國(guó)半導體(tǐ)設備領域長(cháng)期受國(guó)外技(jì )術封鎖與壟斷，加快自主研發勢在必行。諸多(duō)國(guó)内半導體(tǐ)設備廠商(shāng)強勢崛起，如某＊＊集成電(diàn)路與真空儀器設備廠商(shāng)，秉持 “＊＊真空技(jì )術，支撐科(kē)技(jì )創新(xīn)，促進産(chǎn)業發展” 使命，為(wèi)關鍵設備國(guó)産(chǎn)化貢獻卓著。

項目挑戰

該客戶研制的 PVD 鍍膜設備，系半導體(tǐ)工(gōng)藝國(guó)産(chǎn)化重要成果。為(wèi)＊＊把控蒸發或濺射的溫度、壓力、時間等工(gōng)藝參數，客戶需将設備的傳感器、控制器、繼電(diàn)器、電(diàn)源等電(diàn)氣自動化元件相聯接，以實現電(diàn)力、信号與數據傳輸。針對關鍵電(diàn)氣聯接部位的重載接插件，該客戶着重考量的因素涵蓋：

●如何滿足設備運行環境的要求

（1）PVD鍍膜過程中(zhōng)産(chǎn)生的化學(xué)氣體(tǐ)或蒸氣往往對電(diàn)氣材料産(chǎn)生腐蝕；

（2）在一些特定的鍍膜工(gōng)藝中(zhōng)，可(kě)能(néng)會産(chǎn)生高溫和高壓。

●如何提高機械性能(néng)穩定性

PVD設備運行過程中(zhōng)，連接器需要頻繁承受影響穩定性的機械應力，如振動、沖擊、插拔等。

●如何适應機櫃設計，快速完成效果測試

如何根據電(diàn)氣櫃空間設計要求采用(yòng)合适的重載聯接技(jì )術，并通過不同的連接器出線(xiàn)方式快速滿足設備測試要求，是客戶的又(yòu)一困擾所在。

該客戶需要匹配的重載接插件解決方案以解決上述電(diàn)氣櫃聯接項目遇到的挑戰，并滿足半導體(tǐ)終端客戶對PVD鍍膜設備的高标準要求。經過多(duō)方考量，＊終找到了經驗豐富的電(diàn)聯接專家——魏德(dé)米勒。

解決方案

考慮到上述要求，魏德(dé)米勒憑借專業的技(jì )術能(néng)力和快速的服務(wù)能(néng)力，為(wèi)客戶的PVD真空鍍膜設備項目提供了一套＊＊适用(yòng)的重載接插件解決方案。

●高防護設計

（1）采用(yòng)壓鑄鋁制成，其 IP65 / NEMA型 4X 外殼，防塵、防潮、防腐蝕；

（2）可(kě)在-40°C至+125°C的寬溫度範圍工(gōng)作(zuò)；

（3）防電(diàn)磁幹擾，可(kě)安(ān)全傳輸高達35A的電(diàn)流以及高達830V的電(diàn)壓。

●抗機械壓力性能(néng)

（1）清晰的聯鎖系統采用(yòng)不鏽鋼制成，通過獨有(yǒu)的＊＊保護的彈簧系統為(wèi)接插件外殼聯鎖提供緊密接合，防止意外打開；

（2）堅固的機械結構能(néng)夠承受設備振動、沖擊和機械應力。

●快速溝通響應和效果測試

魏德(dé)米勒與客戶進行了深入詳細的溝通，根據客戶電(diàn)氣櫃設計的特殊要求，為(wèi)分(fēn)源端和目标端的兩路重載都提供了頂出和側出兩種出線(xiàn)方案，并迅速進行了實際效果測試。

客戶的益處

采用(yòng)魏德(dé)米勒的重載接插件解決方案後，該客戶的PVD真空鍍膜設備研制項目得以順利實施，并獲得了一系列重要收益：

●終端客戶使用(yòng)更為(wèi)放心

通過高防護設計的重載接插件解決方案，該客戶大大提升了設備運行的安(ān)全可(kě)靠性，為(wèi)其終端客戶提供了腐蝕、高溫等工(gōng)藝環境下的安(ān)心之選。

●提升設備性能(néng)和競争力

基于魏德(dé)米勒重載接插件解決方案出色的機械性能(néng)，PVD真空鍍膜設備的電(diàn)氣自動化系統獲得了更加穩定可(kě)靠的聯接能(néng)力，為(wèi)解決半導體(tǐ)設備國(guó)産(chǎn)化進程中(zhōng)的卡脖子問題貢獻一己之力。

●快速完成選型、調試和交付

基于魏德(dé)米勒專業的咨詢和定制方案服務(wù)能(néng)力，大大簡化了前期咨詢和選型過程，快速找到符合客戶電(diàn)氣櫃設計需求的聯接方案。在交期緊張的情況下，僅用(yòng)1周就完成了效果測試。

＊終效果

随着半導體(tǐ)國(guó)産(chǎn)化進程加快，對關鍵半導體(tǐ)設備的要求也越來越高，魏德(dé)米勒憑借強大的本地化定制服務(wù)能(néng)力，持續為(wèi)客戶提供設備的電(diàn)氣聯接項目保駕護航，為(wèi)關鍵國(guó)産(chǎn)化設備的崛起提供助力。